特許

J-GLOBAL ID：200903084212849337

スラリ供給装置

発明者： 廣 瀬 高 志 ,  綱 田 雅 文 ,  長 倉 靖 彦 ,  石 田 全 寛 ,  間 瀬 康 一
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-107681
公開番号（公開出願番号）：特開平9-290368
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】 スラリの調製量を任意に変えても、ヒータの露出や、液面の低下によらず性質の良好なスラリを研磨装置に供給できるようにしたスラリ供給装置を提供する。【解決手段】 研磨剤、添加剤等のスラリを組成する各原液を各々貯溜する複数の原液タンク1、2、3と、小内径の下部区画と、大内径の上部区画との少なくとも上下2段の構造を有し、供給された原液を混合してスラリを調製する手段を備えた混合タンク10と、各々の原液タンク1、2、3の下流に設けられ、スラリ混合割合に相当する一定量の各原液を計量するための計量手段を備えるとともに、一定量の各原液を前記混合タンクに供給する原液定量供給部7、8、9と、前記混合タンク10で調製されたスラリを任意の流量で研磨装置100に供給するスラリ供給部とから構成される。

請求項（抜粋）：

複数種類の原液を任意の混合割合で混合して調製したスラリを研磨装置に供給するスラリ供給装置において、研磨剤、添加剤等のスラリを組成する各原液を各々貯溜する複数の原液タンクと、小内径の下部区画と、大内径の上部区画との少なくとも上下2段の構造を有し、供給された原液を混合してスラリを調製する手段を備えた混合タンクと、前記各々の原液タンクの下流に設けられ、スラリ混合割合に相当する一定量の各原液を計量するための計量手段を備えるとともに、一定量の各原液を前記混合タンクに供給する原液定量供給部と、前記混合タンクで調製されたスラリを任意の流量で研磨装置に供給するスラリ供給部と、を具備することを特徴とするスラリ供給装置。