マイクロマシニングセンタ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奈良武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-002269
公開番号（公開出願番号）：特開平8-187636
出願日： 1995年01月10日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】微小被加工物を加工後、観察、測定すると共に、加工後の追加工を可能とする。【構成】被加工物23を加工する加工部18と、被加工物23を洗浄する洗浄部19と、被加工物23を観察する観察部11と、被加工物23の形状を測定する測定部21と、被加工物23を支持するステージ24、25、26、27とを有し、少なくとも加工部18、観察部11、測定部21と被加工物23を取り外すことなく、観察、測定を行う。

請求項（抜粋）：

被加工物を加工する加工部と、被加工物を洗浄する洗浄部と、被加工物を観察する観察部と、被加工物の形状を測定する測定部と、被加工物を支持するステージとを有し、少なくとも前記加工部、観察部、測定部と前記被加工物との相対位置を位置決めする位置決め機構を具備していることを特徴とするマイクロマシニングセンタ。

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