インクジェットプリンタヘッドの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大菅義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-128340
公開番号（公開出願番号）：特開2000-318169
出願日： 1999年05月10日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】熱エネルギー効率が良く且つキャビテーション耐久性に優れたインクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】フォトマスク46の成形パターン47は成形すべき隔壁に対応して櫛歯状に切り欠いた露光パターン47aと、現像の際に成形しようとする隔壁のコーナー部近傍で停滞する現像液を流動させるために上記成形パターンの各コーナー部に夫々形成された複数のプロセスパターン47bからなる成形パターン47を有している。区画隔壁39-3(図2(b) 参照)に対応する櫛歯パターンの付け根部にその幅方向へ全長にわたって切り欠きパターンを埋めるべく形成された遮光パターンであり、形成された隔壁には現れないパターンであり、現像の際に区画部の角部分に滞留する現像液の逃げ部を形成するために設けてある。

請求項（抜粋）：

インクを吐出するための熱エネルギーを発生する複数の発熱素子と、該複数の発熱素子を個々に隔離して区画部を形成すべく各発熱素子の少なくとも周囲3方向を矩形状に取り囲む隔壁とを備え、各前記発熱素子により気泡を発生させて前記インクに圧力を加え所定方向に吐出させるインクジェットプリンタヘッドの製造方法であって、前記発熱素子が形成された基板上に感光性樹脂を一様に塗布する工程と、該塗布された前記感光性樹脂に所定の成形パターンを備えたフォトマスクを介して光を照射する露光工程と、該光が照射された前記感光性樹脂を前記各発熱素子を隔離する隔壁の形状に現像する現像工程と、を有し、前記露光工程で使用するフォトマスクの前記成形パターンは、前記隔壁に対応したパターンのコーナー部に、該コーナー部の近傍で停滞する現像液を流動させるためのパターンであって形成される隔壁の形状には現れないプロセスパターンを備えていることを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。

IPC (2件)：

B41J 2/16 , B41J 2/05

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 B

Fターム (14件)：

2C057AF53 , 2C057AF65 , 2C057AF91 , 2C057AF93 , 2C057AG12 , 2C057AP02 , 2C057AP13 , 2C057AP14 , 2C057AP32 , 2C057AP47 , 2C057AP57 , 2C057AP77 , 2C057BA04 , 2C057BA13

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