特許
J-GLOBAL ID：200903084235690904
走査型トンネル顕微鏡の画像処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-189531
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034313
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】探針の走査範囲を越えた領域の観察像を一枚の画像として得る。【構成】観察領域36は一回の走査範囲38に対して大きい。観察領域36の観察は、一回の走査終了毎に試料を動かして、走査範囲内の領域の観察を何回か繰り返して行なう。各走査範囲38はその一部が重なるように設定しておく。各走査範囲38の画像データは、すべての走査が終了した後に、重なっている部分の画像データが一致するようにつなぎ合わせられ、観察領域36の全体の画像データが得られる。
請求項（抜粋）：
走査型トンネル顕微鏡の画像処理方法であって、各々が探針の走査範囲で決まる、一部が共通した複数の領域を観察し、各領域の画像データを得る工程と、隣接した二つの領域に共通した部分の画像データが一致する位置関係を求める工程と、その位置関係に従って隣接した二つの領域の画像データをつなぎ合わせる工程とを有している画像処理方法。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, H01J 37/28
, H04N 7/18
