特許

J-GLOBAL ID：200903084236251009

マイクロレンズアレイ及びその製作法

発明者： 芹川 正 ,  白井 誠一
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-279359
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134202
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【目的】 画像情報処理素子、光集積回路素子や光通信素子の小型化と高性能化が図れるマイクロレンズアレイ及びその製作法を提供する。【構成】 シリコン基板21に複数個の穴22が穿設されてなると共に、該穴に接着層24を介して球状マイクロレンズ23を設けてなり、マイクロレンズアレイの製作は、球状のマイクロレンズを設置する基板として単結晶シリコン基板を用い、該単結晶シリコン基板上に、薄膜を堆積する工程と、該薄膜を所定の形状,大きさのパタンに加工する工程と、該パタンをエッチングマスクとして、前記単結晶シリコン基板に穴を穿孔する工程と、接着用の層を形成する工程と、前記穴にボール状のマイクロレンズを設置する工程を含む。

請求項（抜粋）：

基板に複数個の穴が穿設されてなると共に、該穴に接着層を介して球状マイクロレンズを設けてなることを特徴とするマイクロレンズアレイ。