特許
J-GLOBAL ID：200903084243219340
光変調装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-217655
公開番号（公開出願番号）：特開平8-082777
出願日： 1994年09月12日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】 マイクロミラーを有する光変調装置における、マイクロミラーの下方の電極或いはマイクロミラーの裏面での不要な光の反射を回避して、コントラスト等の低下の改善をはかる。【構成】所定の間隔を保持して複数のマイクロミラーが回動自在に支持され、マイクロミラーに対して照射される光をオン・オフする光変調装置において、マイクロミラーMの下方に配置された電極4a,4b,5,6の表面に反射防止対策を施す。
請求項（抜粋）：
所定の間隔を保持して複数のマイクロミラーが回動自在に支持され、該マイクロミラーに対して照射される光をオン・オフする光変調装置において、上記マイクロミラーの下方に配置された電極表面に反射防止対策が施されてなることを特徴とする光変調装置。
IPC (2件)：
G02F 1/01
, G09F 9/00 325
