特許
J-GLOBAL ID：200903084243578838
縮小投影露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-059912
公開番号（公開出願番号）：特開平5-267123
出願日： 1992年03月17日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：
【要約】【構成】原画を光で照射しその原画に形成されているパターンを縮小レンズを介して縮小投影する縮小投影露光装置に於て、縮小レンズの光吸収に伴い正焦点位置変動を補償するようにウエハを移動させる手段を備えた縮小投影露光装置。【効果】本発明によれば縮小レンズの正焦点位置変動を常に最小に制御できるようになり、高微細化,高歩留化および量産化に効果がある。
請求項（抜粋）：
原画を光で照射しその原画に形成されているパターンを縮小レンズを介して縮小投影する縮小投影露光装置に於て、前記縮小レンズの光吸収に伴い正焦点位置変動を補償するようにウエハを移動させる手段を備えたことを特徴とする縮小投影露光装置。
IPC (2件)：
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