特許
J-GLOBAL ID：200903084245678929
合成石英ガラス粉の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-126262
公開番号（公開出願番号）：特開平6-340411
出願日： 1993年05月27日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 超高純度石英ガラス製品の原料として好適な石英ガラス粉末を得る。【構成】 テトラアルコキシシランを加水分解することにより得られた湿潤シリカゲルを乾燥容器内で乾燥するにあたり、前記乾燥容器として予めアルカリ金属系のアルカリ水溶液で内壁を洗浄したものを用いる。
請求項（抜粋）：
テトラアルコキシシランを加水分解することにより得た湿潤シリカゲルを乾燥容器内で乾燥するにあたり、前記乾燥容器として、予めアルカリ金属系のアルカリ水溶液により容器内壁を洗浄したものを用いることを特徴とする合成石英ガラス粉末の製造方法。
IPC (3件)：
C01B 33/18
, C03B 8/02
, C03C 3/06
