特許
J-GLOBAL ID：200903084250322822
光導波型圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-040171
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249734
出願日： 1993年03月01日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】本発明は、適用範囲が広いとともに、正確な圧力検出が可能で、しかも取扱いが簡単な光導波型圧力センサを提供する。【構成】円筒断面を有する流体輸送管11に回析格子14を形成するとともに、流体輸送管11表面に回析格子14を介して薄膜による光導波路13を形成し、この光導波路13の一部に利得波長帯域の広いレーザ媒質15を分散して分布反射形レーザを構成し、この分布反射形レーザを用いて流体輸送管11に対する圧力変化を回析格子周期の変化に伴うレーザ発振波長の変化により検出する。
請求項（抜粋）：
被検査部材の表面に形成された回析格子と、前記被検査部材の表面に前記回析格子を介して形成された薄膜による光導波路と、この光導波路の一部に分散された利得波長帯域の広いレーザ媒質とにより分布反射形レーザを構成し、該分布反射形レーザを用いて前記被検査部材に対する圧力変化を回析格子周期の変化に伴うレーザ発振波長の変化により検出することを特徴とする光導波型圧力センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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直播用の溝切り装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-336079
出願人：来田金作
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特開平4-148603
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