特許
J-GLOBAL ID:200903084260505852

高熱伝導窒化ケイ素焼結体およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小塩 豊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-002396
公開番号(公開出願番号):特開平10-194842
出願日: 1997年01月09日
公開日(公表日): 1998年07月28日
要約:
【要約】【課題】 機械的強度に優れていると共に、特定方向の熱伝導率を高めることができ、熱伝導の異方性をそなえた窒化ケイ素焼結体を提供する。【解決手段】 窒化ケイ素と、焼結促進のための適宜な助剤成分と、残部不純物から実質的になり、熱伝導に異方性を有しかつ熱伝導率が最も高い方向(X方向)の熱伝導率が90W/(m・K)以上であり、熱伝導率が最も高い方向(X方向)と平行な面のうち一つの断面(Y面)での組織において、径3μm以上の粗大な粒子のうち熱伝導率が最も高い方向(X方向)となす角が±20°以内である粒子が径3μm以上の粗大な粒子の50%以上を占め、また、この断面(Y面)に直交しかつ熱伝導率が最も高い方向(X方向)と平行な断面(Z面)での組織において、径3μm以上の粗大な粒子のうち熱伝導率が最も高い方向(X方向)となす角が±20°以内である粒子が径3μm以上の粗大な粒子の50%以上を占める高熱伝導窒化ケイ素焼結体。
請求項(抜粋):
窒化ケイ素と、焼結促進のための適宜な助剤成分と、残部不可避不純物から実質的になり、熱伝導に異方性を有しかつ熱伝導率が最も高い方向の熱伝導率が90W/(m・K)以上であり、熱伝導率が最も高い方向と平行な面のうち一つの断面(Y面)での組織において、径3μm以上の粗大な粒子のうち熱伝導率が最も高い方向となす角が±20°以内である粒子が径3μm以上の粗大な粒子の50%以上を占め、また、この断面(Y面)に直交しかつ熱伝導率が最も高い方向と平行な断面(Z面)での組織において、径3μm以上の粗大な粒子のうち熱伝導率が最も高い方向となす角が±20°以内である粒子が径3μm以上の粗大な粒子の50%以上を占めることを特徴とする高熱伝導窒化ケイ素焼結体。
IPC (3件):
C04B 35/584 ,  B28B 1/24 ,  B28B 3/20
FI (3件):
C04B 35/58 102 P ,  B28B 1/24 ,  B28B 3/20 K

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