特許
J-GLOBAL ID：200903084265104260
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-350470
公開番号（公開出願番号）：特開平5-165214
出願日： 1991年12月11日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】【目的】従来の保護膜に要求されてきた諸特性を持ちつつ、不要な部分を容易に除去可能な感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】1分子鎖中にカルボキシル基または酸無水物とエポキシ基を含有するアルカリ水溶液に可溶な樹脂および感放射線性酸生成化合物とからなる感放射線性樹脂組成物。【効果】硬度、透明性の良好な感放射線性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)(a)不飽和カルボン酸または不飽和カルボン酸無水物、(b)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物および(c)他のラジカル重合性化合物の共重合体であるアルカリ水溶液に可溶な樹脂および(B)感放射線性酸生成化合物を有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/038
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
