画像形成法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-243085
公開番号（公開出願番号）：特開平6-095388
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】低出力レーザーによる短時間の露光でも画像が形成可能な画像形成法を提供する。【構成】側鎖にオキサゾール誘導体を有する樹脂と増感剤とを含有する感光性樹脂組成物からなる記録層に画像形成光照射を行った後に、イオン解離基を少なくとも一つ有する一級または二級アミン水溶液で現像することによって潜像を形成させる。その後アニオンまたはカチオン性増感剤の水溶液に浸漬することにより、潜像部分にアニオンまたはカチオン性増感剤を特異的に化学吸着させた後、その増感剤の吸収波長域の光線で全面露光することで、酸化反応を増幅した後、アミン水溶液で現像することによって画像を記録する。

請求項（抜粋）：

側鎖にオキサゾール誘導体を有する樹脂と増感剤とを含有する感光性樹脂組成物から成る記録層に画像形成光照射を行った後に、イオン解離基を少なくとも一つ有する一級または二級アミン水溶液に浸漬することによって潜像を形成し、その潜像部分にアニオンまたはカチオン性増感剤を吸着させた後、その増感剤の吸収波長域の光線で全面露光し、その後アミン水溶液で現像することを特徴とする画像形成法。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , G03H 1/02 , H01L 21/027

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