特許
J-GLOBAL ID：200903084278689659
位置検出方法及びそれを用いた位置検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-340209
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243118
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【目的】 物理光学素子を利用してマスクとウエハとの相対的位置決めを高精度に行うことのできる位置検出方法及びそれを用いた位置検出装置を得ること。【構成】 所定の強度分布を持つ光束をマスクの位置合わせパターンに照射し、該位置合わせパターンからの信号光を用いて前記マスクとウエハー間の位置ずれを検出する方法において、前記信号光を用いて前記光束の前記マスク上への入射位置の予め決めた位置からのずれを検出し、前記マスクに対して前記光束を位置合わせすることにより前記入射位置のずれを補正し、前記位置合わせされた光束により前記マスクとウエハー間の位置ずれを検出すること。
請求項（抜粋）：
所定の強度分布を持つ光束をマスクの位置合わせパターンに照射し、該位置合わせパターンからの信号光を用いて前記マスクとウエハー間の位置ずれを検出する方法において、前記信号光を用いて前記光束の前記マスク上への入射位置の予め決めた位置からのずれを検出し、前記マスクに対して前記光束を位置合わせすることにより前記入射位置のずれを補正し、前記位置合わせされた光束により前記マスクとウエハー間の位置ずれを検出することを特徴とする位置検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 311 B
, H01L 21/30 311 H
