特許

J-GLOBAL ID：200903084282636454

軟磁性薄膜及びこれを用いた薄膜磁気ヘッド

発明者： 香取 健二 ,  大森 広之 ,  庄子 光治 ,  大沼 博
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-313358
公開番号（公開出願番号）：特開平8-227813
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【課題】 摩耗(偏摩耗)特性等の信頼性に優れ、高密度磁気記録が可能な薄膜磁気ヘッドを提供する。【解決手段】 FeAlVNbCuNOよりなり、窒素及び水蒸気(H2 O)を導入した反応スパッタにより成膜される軟磁性薄膜を、下層磁性コア1及び上層磁性コア2として配する。

請求項（抜粋）：

(Fea Mb Cuc Rud )e Nf Og (ただしa,b,c,d,e,f,gは組成を原子%で表し、MはSi,Al,Ta,B,Mg,Ca,Sr,Cr,Mn,Zr,Nb,Ti,Mo,V,W,Hf,Ga,Ge,希土類元素のうちの少なくとも1種を表す。)なる組成式で表され、その組成範囲が、0≦b≦50≦c≦80≦d≦50≦c+d≦8a+b+c+d=1000.5≦f≦150.1≦g≦13e+f+g=100であるとともに、窒素及び水蒸気(H2 O)を導入した反応スパッタにより成膜されるものであることを特徴とする軟磁性薄膜。

IPC (6件)：

H01F 10/14 ,  C22C 38/00 303 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/58 ,  H01F 41/18

FI (7件)：

H01F 10/14 ,  C22C 38/00 303 S ,  C23C 14/08 M ,  C23C 14/34 P ,  C23C 14/34 A ,  C23C 14/58 A ,  H01F 41/18