特許

J-GLOBAL ID：200903084287850799

ウエハの研削装置

発明者： 小林 一雄 ,  左光 大和 ,  関田 三郎 ,  加藤 雅彦
出願人/特許権者： 株式会社岡本工作機械製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-123882
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307489
出願日： 1998年04月20日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】コンパクトな研削装置の提供【解決手段】基台上に設けられた軸3に取り付けられたロボットアーム4、軸3の前側に設けられた複数のウエハの縦型収納カセット5,5′、軸3の左横側に設けたウエハの仮置台6、軸3のウエハの仮置台6とは反対側の右横側に設けられた吸着チャック機構8とこの周囲に水を供給できる板9を配したウエハ洗浄装置10、ロボットアームの軸3の後側に設けられた3個の回転可能な研削テーブル12を設けたインデックステーブル13、軸インデックステーブル13の上に離間して設けられたレール14、インデックステーブルに対向して設けられたブラシ洗浄器15aとチャッククリーナ15bをレール14に取り付けた研削テーブル洗浄器機15、インデックステーブル13の上方であって研削テーブル洗浄器機15の後側に設けられた荒研削器機と仕上研削器機16dを据えつけたフレーム21を備える。

請求項（抜粋）：

基台2上に設けられた上下動および回転可能な軸3に水平方向伸縮自在にかつ回転可能に取り付けられたロボットアーム4、前記軸3の前側に設けられかつ該軸3の軸芯と同一の円の中心点を有する環状の位置に設けられた複数のウエハの縦型収納カセット5,5′、前記軸3の左横側に設けたウエハの裏面を水で洗浄可能なウエハの仮置台6、軸3の前記ウエハの仮置台6とは反対側の右横側に設けられた上下動可能な軸7に軸承された吸着チャック機構8とこのチャック機構の周囲に水を供給できる板9を配したウエハ洗浄装置10、ロボットアームの軸3の後側に設けられた回動可能な軸11に軸承されかつ、3個の回転可能な研削テーブル12を軸11から等間隔に設けたインデックステーブル13、該インデックステーブル13の上に離間して設けられたレール14、インデックステーブルに対向して設けられたブラシ洗浄器15aとチャッククリーナー15bを対として横方向に走行可能に前記レール14に取り付けた研削テーブル洗浄器機15、インデックステーブル13の上方であって研削テーブル洗浄器機15の後側に設けられた回転軸16aに軸承された荒研削器機16bと回転軸16cに軸承された仕上研削器機16dを据えつけたフレーム21を備えるウエハの研削装置1。

IPC (3件)：

H01L 21/304 631 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

H01L 21/304 631 ,  H01L 21/304 622 N ,  H01L 21/304 622 P