光学式エンコーダ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-136088
公開番号（公開出願番号）：特開2001-317963
出願日： 2000年05月09日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】スケールのx方向の変位を正確に検出できるとともに、周囲環境が変化しても安定な基隼点検出や絶対位置検出を可能にする光学式エンコーダを提供する。【解決手段】第1の光ビームに照射される第1の光変調領域21を形成したスケール2と、第1の光変調領域を経由した第1の光ビームを受光する第1の光検出手段31とを具備し、その受光面において、第1の光ビームには前記第1の光変調領域により回折パターンが生成され、かつ、第1の光検出手段はこの回折パターンに対応した所定間隔で形成された受光素子群を単独または複数有する光学式エンコーダにおいて、第2の光ビームを射出する第2の光源と、第2の光ビームの光学的特徴を変調する第2の光変調領域22と、第2の光変調領域で光学特性を変調された第2の光ビームを受光する第2の光検出手段32をさらに有する。

請求項（抜粋）：

可干渉の第1の光ビームを射出する第1の光源と、前記第1の光源から射出される前記第1の光ビームを横切るように変位可能であり、かつ、前記第1の光ビームに照射される所定周期の光学パターンよりなる第1の光変調領域を形成したスケールと、前記第1の光変調領域を経由した前記第1の光ビームを受光する第1の光検出手段とを具備し、前記第1の光検出手段の受光面において、前記第1の光ビームには前記第1の光変調領域により回折パターンが生成され、かつ、前記第1の光検出手段はこの回折パターンに対応した所定間隔で形成された受光素子群を単独または複数有する光学式エンコーダにおいて、第2の光ビームを射出する第2の光源と、前記第2の光ビームの光学的特徴を変調する第2の光変調領域と、前記第2の光変調領域で光学特性を変調された前記第2の光ビームを受光する第2の光検出手段をさらに有し、前記スケールの移動方向に前記第1の光変調領域と前記第2の光変調領域がシリーズに位置し、前記スケールの移動に伴い、前記第2の光変調領域は前記第1の光変調領域と一体に移動することを特徴とする光学式エンコーダ。

IPC (3件)：

G01D 5/30 , G01B 11/00 , G01D 5/26

FI (4件)：

G01D 5/30 U , G01D 5/30 P , G01B 11/00 G , G01D 5/26 F

Fターム (36件)：

2F065AA02 , 2F065AA07 , 2F065BB13 , 2F065BB15 , 2F065BB29 , 2F065DD03 , 2F065EE03 , 2F065FF51 , 2F065GG06 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ18 , 2F065JJ26 , 2F065LL28 , 2F065LL51 , 2F065MM03 , 2F065NN08 , 2F065QQ28 , 2F065QQ37 , 2F103BA32 , 2F103CA04 , 2F103CA08 , 2F103DA04 , 2F103DA12 , 2F103EA02 , 2F103EA15 , 2F103EB02 , 2F103EB12 , 2F103EB15 , 2F103EB16 , 2F103EB32 , 2F103EC12 , 2F103GA03

前のページに戻る