特許
J-GLOBAL ID：200903084293990209
SOG膜の成膜方法及びSOGコータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-171707
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017817
出願日： 1994年06月30日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 SOG膜の周縁部がウェハエッジより多少内方に後退しているような理想的な形状を形成するようにしたSOG膜の成膜方法及びSOGコータを提供する。【構成】 ウェハWを載せて一体的に回転する回転円板12と、ウェハW上にSOGソースを吐出する吐出ノズル14と、希HF液を吐出する希HF液ノズル16と、エッジリンス液を吐出するリンス液ノズル18とを備えている。上方に開口を有するカップ20の底部にはSOGソース液、希HF液及びリンス液を排出すると共にカップの排気を行う排気/廃液手段22が設けてある。更に、希HF液から生じたHFガス等の発生ガスを排気するために、酸排気ダクト24が設けてある。希HF液ノズル及びリンス液ノズルのノズル口は、それぞれ回転円板上に載るウェハのエッジ部に臨むように位置決めされている。
請求項（抜粋）：
垂直回転軸に直交する回転板上に載せたウェハの上面にSOGソースを流下させ、回転板と共にウェハを回転させることにより回転塗布して、ウェハ上にSOG膜を成膜する方法において、回転するウェハのエッジ部近傍に延在するSOG膜に希HF液を接触させてエッチングし、更に希HF液に接触したSOG膜部分にリンス液を流してリンスすることを特徴とするSOG膜の成膜方法。
IPC (5件)：
H01L 21/316
, B05C 11/08
, B05D 1/40
, B05D 3/10
, H01L 21/31
