特許
J-GLOBAL ID：200903084294534843
露光光源装置及び露光光源制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-017477
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218694
出願日： 1998年01月29日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】 本発明は小型化の可能な露光光源装置及びその制御方法を提供することを主な目的とする。【解決手段】 レーザ光源2と、レーザ光源2の光軸に沿って複数配置された可動ミラー11を有し、可動ミラー11のそれぞれが、レーザ光を反射する反射位置とレーザ光の光軸を外れた退避位置とに移動可能に支持され、所定の電気信号により駆動されるミラーアレイ10[1]〜10[M]とを半導体基板1上に一体に構成したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
レーザ光源と、前記レーザ光源の光軸に沿って複数配置された可動ミラーを有し、前記可動ミラーのそれぞれが、前記レーザ光を反射する反射位置と、前記レーザ光の光軸を外れた退避位置とに移動可能に支持され、所定の電気信号により駆動されるミラーアレイとを所定の半導体基板上に一体に構成したことを特徴とする露光光源装置。
引用特許：
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