特許
J-GLOBAL ID：200903084296409418
密着露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-277830
公開番号（公開出願番号）：特開2002-091010
出願日： 2000年09月13日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：
【要約】【課題】 装置全体を大型化することなく、ガラスマスクと基板との密着を良好に行えるようにする。【解決手段】 上枠20に固定したガラスマスクMと支持台10上に載置固定した基板B表面の感光剤層Rを真空引きにより密着させるようにした密着露光装置において、基板Bを下面から押す機構15を支持台10に設け、その機構により基板Bを凸状にし、基板Bの感光剤層RとガラスマスクMを面中央部から密着させるようにする。ガラスマスクと基板が隙間なく密着することにより、エアー残りが発生することなく全面にわたって密着させることができる。また、真空引き時間が通常の密着法に比べて短くなり、作業効率がよくなり、大型のガラスマスクでも全面にわたって密着させることができる。また、上部から押す機構がないので、装置が大型化することがない。
請求項（抜粋）：
上枠に固定したガラスマスクと支持台上に載置固定した基板表面の感光剤層を真空引きにより密着させるようにした密着露光装置において、基板を下面から押す機構を支持台に設け、その機構により基板を凸状にし、基板の感光剤層とガラスマスクを面中央部から密着させるようにしたことを特徴とする密着露光装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 501
, H01J 9/14
G03F 7/20 501
, H01J 9/14 H
2H097BA10
, 2H097GA27
, 2H097LA20
, 5C027HH09
