特許

J-GLOBAL ID：200903084299482914

クリーン搬送方法及び装置

発明者： 高橋 哲生 ,  宮内 栄作 ,  宮嶋 俊彦 ,  渡辺 英昭
出願人/特許権者： テイーデイーケイ株式会社
代理人 (1件)： 村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-177803
公開番号（公開出願番号）：特開平5-003240
出願日： 1991年06月24日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

【要約】【目的】 半導体関連製品等の加工、組み立てに必要な被搬送物を汚染物質のないクリーン状態で移送する。【構成】 シャッター41で開閉自在な移送口39を有する真空クリーン室25を備えていて移動自在なクリーンボックス19と、シャッター40で開閉自在な移送口17を有するプロセスチャンバー16を備えた処理部15とを各シャッターの閉成状態にて気密に結合して、各移送口が面する密閉空間を形成し、該密閉空間を真空排気後、前記真空クリーン室及び前記プロセスチャンバーの各移送口を閉じていた各シャッターをそれぞれ開け、前記密閉空間に対して各移送口を開口させた状態として、被搬送物を移し変えることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

シャッターで開閉自在な移送口を有する真空クリーン室を備えていて移動自在なクリーンボックスと、シャッターで開閉自在な移送口を有するプロセスチャンバーを備えた処理部とを各シャッターの閉成状態にて気密に結合して、各移送口が面する密閉空間を形成し、該密閉空間を真空排気後、前記真空クリーン室及び前記プロセスチャンバーの各移送口を閉じていた各シャッターをそれぞれ開け、前記密閉空間に対して各移送口を開口させた状態として、被搬送物を移し変えることを特徴とするクリーン搬送方法。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B25J 19/00 ,  B65G 47/52 101 ,  F24F 7/06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-087749
  
• 特開昭60-143623