特許

J-GLOBAL ID：200903084301782726

蒸気排出方法

発明者： 末松 孝章 ,  神谷 松雄 ,  田澤 直人 ,  矢野 哲憲
出願人/特許権者： 日立プラント建設株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-194094
公開番号（公開出願番号）：特開2005-030635
出願日： 2003年07月09日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：

【課題】FFUの下方で発生した蒸気がFFUのフィルタに付着することを防止する蒸気排出方法を提供する。【解決手段】本発明に係る製造設備10は、清浄室12の内部に高清浄度のブース22が形成される。ブース22の天井面22Aには、中央に一列に並んで配置されたFFU44A、44A...と、その両隣に並んで配置されたFFU44B、44B...が設けられる。FFU44B、44B...のさらに外側には蒸気排出口46が形成され、この蒸気排出口46にエアフィルタ48が設置される。FFU44は、FFU44Bよりも大きな風速で清浄エアを吹き出すように制御される。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

天井面に複数台のFFUが配設されるとともに、該FFUの下方に蒸気発生源を有する室内から蒸気を排出する蒸気排出方法において、 前記FFUの設置エリアの中央部に位置するFFUが、前記設置エリアの周辺部に位置するFFUよりも大きな風速で清浄エアを吹き出すことを特徴とする蒸気排出方法。

IPC (2件)：

F24F9/00 ,  F24F7/06

FI (2件)：

F24F9/00 J ,  F24F7/06 C

Fターム (8件)：

3L058BE08 ,  3L058BF01 ,  3L058BF06 ,  3L058BG03 ,  4B023LE11 ,  4B023LG01 ,  4B023LP10 ,  4B023LT03