特許

J-GLOBAL ID：200903084305629507

測定装置

発明者： 千葉 一彦
出願人/特許権者： 山武ハネウエル株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-322874
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160418
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 小型化を可能にするとともに製造コストを低減する。【解決手段】 固定磁石44、励磁コイル45および軸47を備えた固定部38と、磁石50を有し軸47によって揺動自在に保持された可動部39とでアクチュエータ33を構成する。可動部39に反射鏡31を固定する。励磁コイル45に交流電流を流して励磁と、可動部39が揺動し、反射鏡31がレーザー光3を走査して点状光に変換する。

請求項（抜粋）：

レーザー光源と、このレーザー光源からのレーザー光を反射し被測定物に導く反射鏡と、この反射鏡を揺動させ前記レーザー光を走査するアクチュエータと、前記被測定物を照射したレーザー光を受光する受光素子と、この受光素子の出力信号から被測定物の走査方向の寸法または位置を算出する信号処理部とを備えた測定装置において、前記アクチュエータを、励磁コイルを備えた固定部と、磁石を有し前記固定部に揺動自在に配設された可動部とで構成し、この可動部に前記反射鏡を固定し、前記励磁コイルに交流電流を流して励磁することにより、前記反射鏡を可動部とともに揺動させることを特徴とする測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/00 ,  G02B 26/10 101

FI (3件)：

G01B 11/02 Z ,  G01B 11/00 B ,  G02B 26/10 101