特許

J-GLOBAL ID：200903084306785880

金属用研磨液及び研磨方法

発明者： 小野 裕 ,  増田 克之 ,  羽広 昌信
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-383539
公開番号（公開出願番号）：特開2003-188120
出願日： 2001年12月17日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：

【要約】【課題】 エッチング速度を低く保ちつつ、研磨速度を充分上昇させ、金属表面の腐食とディシングの発生を抑制し、信頼性の高い金属膜の埋め込みパタ-ン形成を可能とする金属用研磨液を提供する。【解決手段】 酸化剤、酸化金属溶解剤、金属防食剤及び水を含有し、前記金属防食剤の少なくとも一種がイミダゾール骨格を有する化合物である金属用研磨液。

請求項（抜粋）：

酸化剤、酸化金属溶解剤、金属防食剤及び水を含有し、前記金属防食剤の少なくとも一種がイミダゾール骨格を有する化合物である金属用研磨液。

IPC (7件)：

H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  B24B 57/02 ,  C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14

FI (7件)：

H01L 21/304 621 D ,  H01L 21/304 622 A ,  H01L 21/304 622 X ,  B24B 37/00 H ,  B24B 57/02 ,  C09K 3/14 550 C ,  C09K 3/14 550 Z

Fターム (7件)：

3C047FF08 ,  3C047GG15 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17