特許
J-GLOBAL ID：200903084309421668
処理データ収集および基板画像形成技術によって埋め込み基板の検査を可能にする方法と装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 山田 行一
, 鈴木 康仁
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-532916
公開番号（公開出願番号）：特表2005-501216
出願日： 2001年10月05日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：
本発明は一般的には、処理システムにおいて基板を検査するための装置と方法を提供する。1つの態様では、一対の光源が、CCDを有するカメラなどの光学受信装置とともに用いられ、様々な光学形跡について基板を照射し、検査する。次に、基板の形跡は、別の解析のために3次元(3D)で障害の画像を生成するのに用いられる。一実施形態で、基板は第1の光源で2つ以上の方向に走査され、第2の光源で2つ以上の方向に走査される。受信装置が2つ以上の異なる画像からなる源から反射信号と散乱信号の両方またはいずれか一方を取得する。第1と第2の光源からの光照射は、2つの異なる角度(すなわち遠近)から基板表面の障害に衝突する。したがって、第1の光源からの画像が障害の1つの側面に関係する情報を得て、一方第2の光源からの画像が障害の反対の側面に関係する情報を与える。画像同士は、異なる遠近角度と異なる光学フィルタリング構成のいずれかを用いることによって区別される。
請求項（抜粋）：
光学検査システムを作動して、処理システム内に配置される基板の表面トポグラフィの特性を判定する方法であって、光学検査システムは、信号処理ユニットと;第1の光信号を放射するよう構成される第1の光源と;第2の光信号を放射するよう構成される第2の光源と;第1と第2の光源と信号処理ユニットとに接続される受信装置ユニットとを備え、該方法は:
基板が移送面に沿って移動中で第2の光源が非作動である間、基板表面を、第1の場所とは異なる、基板に対する第1の場所に位置づけられた第1の光源からの第1の光信号で照射するステップと;
基板が移送面に沿って移動中で第1の光源が非作動である間、基板表面を基板に対する第2の場所に位置づけられた第2の光源からの第2の光信号で照射するステップと;
第1と第2の光源の間に配置された受信装置ユニットで、第1の信号の一部分と第2の信号の一部分を受信するステップと;
信号処理ユニットで、第1と第2の信号部分の特性を表す、基板についての信号形跡情報を生成するステップと;
第1と第2の信号部分の信号形跡情報を処理して、第1の信号画像と第2の信号画像を導き出すステップと;
第1と第2の信号画像を用いて基板表面の3次元画像を生成するステップと;を備える、方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/956 A
, H01L21/66 J
2G051AA51
, 2G051AB07
, 2G051BB02
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CB05
, 2G051DA03
, 2G051EA12
, 2G051EB01
, 2G051EC02
, 4M106BA04
, 4M106CA38
, 4M106CA41
, 4M106DB02
, 4M106DB04
, 4M106DJ15
, 4M106DJ18
, 4M106DJ20
