マイクロアクチュエータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-258529
公開番号（公開出願番号）：特開平10-106184
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】製造が容易で超薄型のマイクロアクチュエータを提供することにある。【解決手段】両端をベースフレーム10,11に固定された板状梁体20の略中央片側縁部に切り欠き部21を設けて巾狭部22を形成する。さらに、前記板状梁体20の上面に応力発生手段12を形成する。

請求項（抜粋）：

両端をベースフレームに固定された板状梁体の略中央片側縁部に切り欠き部を設けて巾狭部を形成するとともに、前記板状梁体の少なくとも片面に応力発生手段を形成したことを特徴とするマイクロアクチュエータ。

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