特許
J-GLOBAL ID：200903084318775863
プラズマ加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
溝上 満好
, 溝上 哲也
, 岩原 義則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-234624
公開番号（公開出願番号）：特開2004-079612
出願日： 2002年08月12日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【課題】端面加工やノッチ部の加工を、予め面取りを施すことなく、少ないガス消費量で行うこと。【解決手段】加圧又は大気圧下での低温プラズマによる反応性エッチングを利用してウェハ5の加工を行うプラズマ加工装置1である。内部を所定の圧力に制御が可能なガスの供給装置2と排出装置3を備えたチャンバー4と、このチャンバー4内に固定配置されたウェハ5の回転機構7と、この回転機構7によって回転されるウェハ5の端面と対向すべくチャンバー4内に配置された少なくとも1基の電極部8を備えた構成である。【効果】予め端面に面取りを施すことなく、難削材の端面の鏡面加工やノッチ部の加工を、少ないガス消費量で能率良く行える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
加圧又は大気圧下での低温プラズマによる反応性エッチングを利用して加工物の加工を行うプラズマ加工装置において、
内部を所定の圧力に制御が可能なガスの供給装置と排出装置を備えたチャンバーと、このチャンバー内に固定配置された加工物の回転機構と、この回転機構によって回転される加工物の端面と対向すべくチャンバー内に配置された少なくとも1基の電極部を備えたことを特徴とするプラズマ加工装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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