特許

J-GLOBAL ID：200903084331487770

クリーンルーム

発明者： 天羽 隆 ,  富田 弘明
出願人/特許権者： 三機工業株式会社
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-053993
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247512
出願日： 1995年03月14日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 生産装置又は機器の上部側で発生する熱気流や上方吹出気流に起因する気流の乱れを抑制すること、汚染物質を捕捉すること、周辺への温度影響を防止することができるクリーンルームを提供することにある。【構成】 室と、この室の上部側に配設されたフィルタユニットと、室の下部側を仕切ると共に上面に生産装置又は機器を配置する空気流通穴を備えた床と、フィルタユニットを介して清浄空気を室内に供給すると共に空気流通孔を介して室内の空気を吸引する空調装置とを有するクリーンルームにおいて、生産装置又は機器の上部側のフィルタユニットには、生産装置又は機器の上部側の空気を吸引する吸気手段が配設され、生産装置又は機器の周囲の上部側のフィルタユニットには、生産装置又は機器の周囲に空気を圧送する送気手段が配設されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

室と、この室の上部側に配設されたフィルタユニットと、室の下部側を仕切ると共に上面に生産装置又は機器を配置する空気流通穴を備えた床と、フィルタユニットを介して清浄空気を室内に供給すると共に空気流通孔を介して室内の空気を吸引する空調装置とを有するクリーンルームにおいて、生産装置又は機器の上部側のフィルタユニットには、生産装置又は機器の上部側の空気を吸引する吸気手段が配設され、生産装置又は機器の周囲の上部側のフィルタユニットには、生産装置又は機器の周囲に空気を圧送する送気手段が配設されていることを特徴とするクリーンルーム。