特許

J-GLOBAL ID：200903084340076332

現像装置

発明者： 西本 淳二
出願人/特許権者： 鹿児島日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169527
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357650
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】ガラス基板12に現像液13を塗布する現像装置において、フォトレジストの残りを起こすはじきを無くし短時間でガラス基板12上のフォトレジスト膜の全面に現像液13の液盛り行う【解決手段】ガラス基板12に現像液を液盛りする現像液滴下ノズル9と、ガラス基板の周辺部に液盛りされた現像液13をガス圧で外方に押し流す表面吹き付けノズル5とこの表面吹き付けノズルと対をなすともにガラス基板の裏面に回り込む現像液を吹き飛ばす裏面吹き付けノズル6とを具備するガス吹き付けノズル1及び2とを設けることによって、ガラス基板の周辺部に発生し易いはじき部を完全に現像液で埋めることができる。

請求項（抜粋）：

パタ-ンが転写されたフォトレジスト膜が形成された矩形状の基板を保持するステ-ジと 、前記基板のいずれかの辺に平行に該基板上を走行しながら前記基板に現像液を滴下し前記フォトレジスト膜の全面に前記現像液を滴下し液盛りする現像液滴下ノズルと、前記基板の周辺部に液盛りされた前記現像液にガスを吹き付け前記基板の外側に押し流す表面吹き付けノズルとこの表面吹き付けノズルと対をなすともに押し流され前記基板の裏面に回り込む前記現像液に前記ガスを吹き付け前記基板の外方に前記現像液を飛散させる裏面吹き付けノズルとを具備する表面及び裏面吹き付けノズルとを備えることを特徴とする現像装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/30 501

FI (2件)：

H01L 21/30 569 E ,  G03F 7/30 501

Fターム (6件)：

2H096AA25 ,  2H096GA30 ,  2H096GA32 ,  5F046LA02 ,  5F046LA03 ,  5F046LA14