特許

J-GLOBAL ID：200903084351396843

光源装置及び該光源装置を備える紫外線照射装置

発明者： 寺島 茂 ,  福田 恵明 ,  藤岡 秀彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-174315
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029804
出願日： 1993年07月14日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】 オゾン発生量を軽減させる。【構成】 チャンバー12によりランプ11、ミラー13、14の雰囲気を大気から隔離し、ガス循環装置17〜24によりチャンバー12内に不活性ガスを供給し、循環させる。チャンバー12の透明窓15を介してランプ11からの紫外線を外部に取出し、、取出した紫外線を被露光基板に照射する。

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源の雰囲気を大気と隔離するよう前記光源を覆う構成され、前記光源からの紫外線を取り出すための光線取出窓を備えるチャンバーとを有することを特徴とする光源装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 C ,  H01L 21/30 527