特許

J-GLOBAL ID：200903084361321809

柔軟センサ

発明者： 佐藤 明生 ,  片山 晶雅 ,  日比野 真吾
出願人/特許権者： 東海ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 西藤 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-148838
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337971
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】感知面が非常に柔軟で、ごく微妙な圧力変化に対し優れた感度と応答性を有する柔軟センサを提供する。【解決手段】樹脂フィルム16の片面に、厚み100〜20000Åのチタン薄膜18が蒸着形成され、このチタン薄膜18の上に厚み0.5〜50μmの圧電結晶薄膜19が形成され、さらにその上に電極層20が形成されてなる圧電積層体2を備えている。

請求項（抜粋）：

樹脂フィルムの片面もしくは両面に、厚み100〜20000Åのチタン薄膜が蒸着形成され、このチタン薄膜の上に厚み0.5〜50μmの圧電結晶薄膜が形成され、さらにその上に電極層が形成されてなる圧電積層体を備えていることを特徴とする柔軟センサ。