加熱装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：島村芳明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132353
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323485
出願日： 1999年05月13日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】加熱装置の均熱性と生産性の向上を図る。【解決手段】被加熱物1に上から被せるように囲繞し、下部が開放され上部が密閉された竪型円筒状で内面にヒータ2aが貼付してあるヒータ容器2と、上記ヒータ容器2の下端からわずかに離れて下方に設けられ、被加熱物1を下から加熱する下部ヒータ2bと、ヒータ容器2に上から被せるように囲繞し、下部が開放され上部が密閉された竪型円筒状のシールド容器5と、これらを収容する竪型円筒状で底部が開放可能な密閉容器3とを有してなる加熱装置であって、上記ヒータ容器2と上記シールド容器5の天井中心には同心状に孔があけられているとともに、それらの孔を塞ぐ昇降可能な蓋6が設けられていて、蓋6が最下位置にあるときにはヒータ収容2の孔2cが塞がれており、蓋6が中間位置にあるときにはヒータ容器2の孔2cは開き、シールド容器5の孔5aが塞がれており、蓋6が最上位置にあるときには、ヒータ容器2の孔2cとシールド容器5の孔5aは共に開いているようになっている。

請求項（抜粋）：

被加熱物に上から被せるように囲繞し、下部が開放され上部が密閉された竪型円筒状で内面にヒータが貼付してあるヒータ容器と、上記ヒータ容器の下端からわずかに離れて下方に設けられ、被加熱物を下から加熱する下部ヒータと、ヒータ容器に上から被せるように囲繞し、下部が開放され上部が密閉された竪型円筒状のシールド容器と、これらを収容する竪型円筒状で底部が開放可能な密閉容器とを有してなる加熱装置であって、上記ヒータ容器と上記シールド容器の天井中心には同心状に孔があけられているとともに、それらの孔を塞ぐ昇降可能な蓋が設けられていて、蓋が最下位置にあるときにはヒータ容器の孔が塞がれており、蓋が中間位置にあるときにはヒータ容器の孔は開き、シールド容器の孔が塞がれており、蓋が最上位置にあるときには、ヒータ容器の孔とシールド容器の孔は共に開いているようになっていることを特徴とする加熱装置。

FI (2件)：

H01L 21/324 G , H01L 21/324 R

引用特許：

出願人引用 (4件)

圧力制御方法及び反応処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-057484 出願人：株式会社神戸製鋼所
熱処理成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-046467 出願人：株式会社東芝
特開昭63-137416

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審査官引用 (4件)

圧力制御方法及び反応処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-057484 出願人：株式会社神戸製鋼所
熱処理成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-046467 出願人：株式会社東芝
特開昭63-137416

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