特許
J-GLOBAL ID：200903084366150069
自動非点収差補正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-312778
公開番号（公開出願番号）：特開平9-161706
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 非点収差を補正する最適な補正量を少ない手順で得ることができる自動非点収差補正方法を提供する。【解決手段】 非点収差を補正する補正方向を求め(STEP1)、試料に対する焦点位置を変更しながら、求めた補正方向および補正方向と直交する方向の2方向について走査を行って両方向での非点収差量を求め(STEP2)、試料に対する焦点位置が同一の位置関係において、求めた両方向の非点収差量が一致する補正量を求める(STEP3,4)。そして、この求めた補正方向および補正量を用いて非点収差補正を行う(STEP5,6)。
請求項（抜粋）：
非点収差を補正する補正方向を求め、試料に対する焦点位置を変更しながら、補正方向および補正方向と直交する方向の2方向について走査を行って両方向での非点収差量を求め、試料に対する焦点位置が同一の位置関係において、前記両方向の非点収差量が一致する補正量を求め、前記補正方向および補正量を用いて非点収差補正を行うことを特徴とする自動非点収差補正方法。
IPC (2件)：
H01J 37/153
, G01N 23/225
H01J 37/153 B
, G01N 23/225
