ディスク試験装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-090412
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257444
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】迅速に、高精度にかつ簡単に被試験ディスクの試験を自動的に行えるディスク試験装置を実現すること。【解決手段】レーザー光線を被試験ディスク12上に照射する光源32、被試験ディスク12からの反射光を検出し、反射面からの距離を表す距離検出信号を発生する光学距離検出手段40、42と、該光学距離検出手段からの上記距離検出信号から上記被試験ディスク上の平坦度を検出する平坦度検出手段66とを具える。

請求項（抜粋）：

レーザー光線を被試験ディスク上に照射し、該被試験ディスクからの反射光を検出し、反射面からの距離を表す距離検出信号を非点収差法により発生する光学距離検出手段と、該光学距離検出手段からの上記距離検出信号から上記被試験ディスク上の平坦度を検出する平坦度検出手段とを具えることを特徴とするディスク試験装置。

IPC (3件)：

G01B 11/30 101 , G01B 11/00 , G01N 21/88

FI (3件)：

G01B 11/30 101 A , G01B 11/00 B , G01N 21/88 G

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