光学特性計測方法及び装置、露光装置、並びにデバイス製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立石篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-397069
公開番号（公開出願番号）：特開2002-195912
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】【課題】照明条件の如何にかかわらず、投影光学系のベストフォーカス位置を精度良く算出する。【解決手段】照明光ILにより投影光学系PLの像面近傍に形成されたパターンPMの空間像に対して、スリット22を相対走査するとともに、スリットを介した照明光の強度に応じた信号をスリット板90の光軸方向の複数位置毎に得る。そして、これらの信号のコントラスト値に基づく第1のコントラストカーブから算出される仮のベストフォーカス位置を中心とし、かつ照明条件に応じた重みパラメータを含む重み付け関数を用いてコントラスト値を重み付けして第2のコントラストカーブを得、これに基づき真のベストフォーカス位置を算出する。従って、それぞれの照明条件下において計測精度が低下しないような重みパラメータが予め定められるので、照明条件によらずベストフォーカス位置を精度良く算出することができる。

請求項（抜粋）：

投影光学系の光学特性を計測する光学特性計測方法であって、照明光により所定のパターンを照明し、該パターンの空間像を前記投影光学系を介して像面近傍に形成する工程と;前記投影光学系の像面側に配置された計測用パターンを前記空間像に対して相対的に走査するとともに、前記計測用パターンを介した前記照明光の強度に応じた光電変換信号を前記計測用パターンの前記光軸方向の複数の位置毎に得る工程と;前記複数の位置毎に得られた光電変換信号のコントラスト値をカーブフィットして得られる第1のコントラストカーブに基づいて前記投影光学系の仮のベストフォーカス位置を求める工程と;前記投影光学系を照明する照明条件に応じて定まる重みパラメータを含み、前記仮のベストフォーカス位置を中心とする重み付け関数を用いて前記コントラスト値を重み付けして第2のコントラストカーブを算出し、該第2のコントラストカーブに基づいて前記投影光学系の真のベストフォーカス位置を算出する工程と;を含む光学特性計測方法。

IPC (3件)：

G01M 11/02 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (3件)：

G01M 11/02 B , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 526 A

Fターム (13件)：

2G086HH01 , 5F046AA25 , 5F046BA04 , 5F046BA05 , 5F046CB17 , 5F046CC01 , 5F046CC03 , 5F046CC05 , 5F046DA14 , 5F046DB01 , 5F046DB05 , 5F046DC10 , 5F046DC12

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