特許
J-GLOBAL ID：200903084374227003
X線マイクロアナライザにおける試料分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-296335
公開番号（公開出願番号）：特開平6-231717
出願日： 1987年04月17日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 カラーマッピング像中の注目する領域における2つの元素の画素がとる特性X線強度の度数分布の様子を相関的に表わすグラフを表示できるX線マイクロアナライザにおける分析方法を提供すること。【構成】 相関表示すべき元素として元素Θ1とΘ2をキーボード7により指示する。画像記憶領域A1の格納データのうち指示した領域Sに含まれる画素のデータと、画像記憶領域A2の格納データのうち領域Sに含まれる画素のデータが相関グラフデータ作成部17に送られる。相関グラフデータ作成部17においては、画像記憶領域A1に記憶された領域Sに含まれる第i番目の画素のデータをディスプレイ5の画面上に表示する第i番目の点のX座標xiとすると共に、画像記憶領域A2に記憶された領域Sに含まれる第i番目の画素のデータを前記i番目の表示点のY座標yiに比例的に変換し、表示制御部20に送る。
請求項（抜粋）：
試料に電子線を照射し、試料の二次元平面上の各画素(x,y)に関する各元素Θ1,Θ2,...,Θn(n≧2)の特性X線の強度値データI1(x,y),I2(x,y),...,In(x,y)を得、該得たデータを記憶し、該記憶されたデータの中から任意の元素Θi(iは1,2,...,nのいずれか)の特性X線強度値データIi(x,y)を読み出し、この読み出されたデータ値に応じたカラーで元素Θiの分布像を表示し、該分布像の任意の位置で任意の大きさの領域Sを指示し、前記各元素のうちの任意の2つの元素について前記指示された領域Sに含まれる各画素のX線強度値毎の度数分布を相関的に表わすグラフを表示させることを特徴とするX線マイクロアナライザにおける試料分析方法。
IPC (3件)：
H01J 37/22
, G01N 23/225
, H01J 37/252
