液晶基板の配向状態評価方法とその装置、並びに液晶基板製造モニタリング装置および液晶基板

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋本正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-252134
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074600
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】液晶基板上の微弱なむらを高精度に検出・定量評価すること。【解決手段】テレセントリックレンズ103を用いて、輝度シェーディングを除去し、また、光学系の傾斜手段106を設け、液晶基板101に対しカメラ104光軸を様々に傾けて撮像・評価を行う。更に、コンピュータ107上で得られた画像毎に輝度シェーディング補正を行うことで、微弱な欠陥を見落としなく高精度に検出し、更にまた、欠陥種別対応判定基準を設け、合否判定を行うと同時に、欠陥種別対応に詳細に定量評価を行えるようにしたものである。

請求項（抜粋）：

評価対象としての液晶基板の発光面に対し、画像検出上での視角が順次更新設定される度に、画像検出上での視線差により生じる輝度シェーディングが除去されつつ、上記発光面が多値画像データとして検出された後、検出多値画像データからは、該検出多値画像データ上でのサンプリング画像データから生成された補正データにもとづき、液晶の視角依存性等による輝度シェーディングが除去された状態のコントラスト多値画像データが得られた上、該コントラスト多値画像データ上から欠陥種別対応判定用2値化しきい値により検出された、しみ、むらを含む各種欠陥については、欠陥種別対応に評価値が算出されるようにして、上記視角対応に得られる、欠陥種別対応評価値を考慮の上、上記評価対象についての総合的な合否判定が行われるようにした、液晶基板の配向状態評価方法。

IPC (6件)：

G01M 11/00 , G01N 21/88 , G01N 21/95 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1337 , G09F 9/00 352

FI (6件)：

G01M 11/00 T , G01N 21/88 J , G01N 21/95 Z , G02F 1/13 101 , G02F 1/1337 , G09F 9/00 352

Fターム (21件)：

2G051AA73 , 2G051AB11 , 2G051AC02 , 2G051CA04 , 2G051CB02 , 2G051CD05 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2G051EC01 , 2G051ED05 , 2G086EE10 , 2H088FA11 , 2H088FA12 , 2H088HA03 , 2H090HC20 , 5G435AA00 , 5G435AA02 , 5G435BB12 , 5G435EE33 , 5G435KK05 , 5G435KK10

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