特許
J-GLOBAL ID：200903084380655688
微小領域熱物性測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
中野 佳直 (外1名)
, 中野 佳直
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-290555
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121585
出願日： 1998年10月13日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】 試料表面の微小領域の熱物性を高い空間分解能により測定すること。【解決手段】 試料3の表面に金属薄膜を形成し、その試料表面を加熱する為、変調器8で交流変調した加熱用レーザビーム5と加熱した試料表面に照射する測温用レーザビーム6とを顕微光学系4を通して試料表面のほぼ同一位置に集光させ、その時の測温用レーザビームの反射光を検出する。測温用レーザビームの反射光から試料表面の温度変化を検出して位相遅れや相対強度を測定し、試料の微小領域の熱物性値を算出する。試料を二次元移動させることにより局所的な熱物性値の二次元分布が求められる。
請求項（抜粋）：
試料表面を加熱する加熱用レーザビームを発する加熱用レーザと、該加熱用レーザビームを交流変調する変調器と、加熱した試料表面に照射する測温用レーザビームを発する測温用レーザと、前記両レーザビームを前記試料表面のほぼ同一位置に集光させる顕微鏡光学系と、前記測温用レーザビームの反射光を検出する手段と、前記検出された反射光に基づいて試料の熱物性値を算出する手段とを備え、前記試料表面の反射率の温度依存性を用いて試料表面の温度変化を検出することを特徴とする微小領域熱物性測定装置。
Fターム (14件)：
2G040AB05
, 2G040AB08
, 2G040BA26
, 2G040CA02
, 2G040CA12
, 2G040CA23
, 2G040DA05
, 2G040DA12
, 2G040DA15
, 2G040DA24
, 2G040EA06
, 2G040EB02
, 2G040EC04
, 2G040HA16
