Al合金製スパッタリングターゲット材の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-162914
公開番号（公開出願番号）：特開平11-335826
出願日： 1998年05月27日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：

【要約】【課題】反りが少なく、しかも、パーティクルの少ない薄膜を形成し得るAl合金製スパッタリングターゲット材の製造方法を提供する。【解決手段】Al合金素材に塑性加工と熱処理を施した後、最終加工として冷間圧延加工を施す。最終冷間圧延加工の加工率は、好ましくは10〜30%であり、最終冷間圧延加工後の0.2%耐力は、好ましくは冷間圧延加工前の1.5倍以上である。

請求項（抜粋）：

Al合金素材に塑性加工と熱処理を施した後、最終加工として冷間圧延加工を施すことを特徴とするAl合金製スパッタリングターゲット材の製造方法。

IPC (7件)：

C23C 14/34 , C22F 1/04 , C22F 1/00 630 , C22F 1/00 661 , C22F 1/00 672 , C22F 1/00 685 , C22F 1/00 694

FI (7件)：

C23C 14/34 A , C22F 1/04 A , C22F 1/00 630 A , C22F 1/00 661 Z , C22F 1/00 672 , C22F 1/00 685 Z , C22F 1/00 694 A

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