特許
J-GLOBAL ID：200903084385243434
アライメント装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-205307
公開番号（公開出願番号）：特開平9-034134
出願日： 1995年07月19日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【目的】 低段差のアライメントマークに対しても高いコントラストを有するマーク像に基づいて高精度な位置検出が可能なアライメント装置を提供すること。【構成】 アライメントすべき基板上に形成されたアライメントマークに照明光を照射するための照明光学系と、照明光に対するアライメントマークからの回折光を対物レンズで集光してアライメントマーク像を形成するための結像光学系とを備え、アライメントマーク像の位置情報に基づいてアライメントマークの位置を検出するアライメント装置において、結像光学系の光路中において、対物レンズの像側面と、アライメントマークからの0次回折光と±1次回折光とが実質的に重なる位置との間に配置され、回折光の位相振幅分布を変化させるための位相板をさらに備え、位相板を介して形成されたアライメントマーク像の位置情報に基づいてアライメントマークの位置を位相差検出する。
請求項（抜粋）：
アライメントすべき基板上に形成されたアライメントマークに照明光を照射するための照明光学系と、前記照明光に対する前記アライメントマークからの回折光を対物レンズで集光してアライメントマーク像を形成するための結像光学系とを備え、前記アライメントマーク像の位置情報に基づいて前記アライメントマークの位置を検出するアライメント装置において、前記結像光学系の光路中において、前記対物レンズの像側面と、前記アライメントマークからの0次回折光と±1次回折光とが実質的に重なる位置との間に配置され、前記回折光の位相振幅分布を変化させるための位相板をさらに備え、前記位相板を介して形成された前記アライメントマーク像の位置情報に基づいて前記アライメントマークの位置を位相差検出することを特徴とするアライメント装置。
IPC (4件)：
G03F 9/00
, G01B 11/00
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
G03F 9/00 H
, G01B 11/00 C
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 506 F
, H01L 21/30 522 D
, H01L 21/30 525 R
