特許
J-GLOBAL ID：200903084388350223
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-075503
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267960
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】保護部材と周辺厚肉部との接合強度を向上させることができる加速度センサを提供する。【解決手段】周辺厚肉部15の上面に、薄肉部13の変形量を制限する保護部材40が固定されており、保護部材40には、各抵抗部11に接続されている信号線を当該保護部材40の外部に引き出すための引き出し口42が形成されている。
請求項（抜粋）：
中央厚肉部と、該中央厚肉部の周囲に形成され、与えられた加速度に応じて変形する薄肉部と、該薄肉部の周囲に形成された周辺厚肉部とを有する検出体と、前記中央厚肉部の下面に固定された重錘体と、前記周辺厚肉部の上面に固定された保護部材とを備え、前記薄肉部には、該薄肉部の変形量に応じて電気抵抗が変化する複数の抵抗部が形成され、前記複数の抵抗部のそれぞれには、前記検出体上に形成された信号線が接続され、前記保護部材には、前記中央厚肉部及び前記薄肉部を隙間をあけて覆う覆い部が設けられており、前記覆い部に、前記中央厚肉部及び前記薄肉部の少なくとも一方を当接することにより、前記薄肉部の変形量を制限する加速度センサであって、前記保護部材には、前記各抵抗部に接続されている信号線を当該保護部材の外部に引き出すための引き出し口が形成されていることを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/12
, H01L 29/84 B
