特許
J-GLOBAL ID：200903084410817033
表面形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-211303
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075433
出願日： 1994年09月05日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】表面形状を高精度、高感度に測定することができるコンパクトな表面形状測定装置。【構成】所定の周期で発振周波数と発光強度が変調されたレーザ光は光ファイバー16を介して検出器本体11に導かれ、ビームスプリッタ36によって二つの方向に分割される。一方は参照ミラー37に照射されて、他方は可変機構に支持された対物レンズ45で集光され、光触針として被測定面に照射される。被測定面の反射光は光路を戻り、その一部はビームスプリッタ41で折り曲げられ、ホトダイオード48で受光され、対物レンズ45の焦点ずれ信号となる。可変機構制御回路15は対物レンズ45の位置を制御し、光触針の被測定面での合焦点状態を確保する。ビームスプリッタ41を直進した物体光は、ビームスプリッタ36において参照光と重畳される。両者の間に生じるヘテロダイン干渉の干渉信号をホトダイオード38によって光電変換し、被測定物の表面形状を測定する。
請求項（抜粋）：
周波数変調したレーザビームを発生させるレーザ光源部と、前記レーザビームの一部を被測定物に照射する為の対物レンズ系と、該対物レンズ系を被測定面に対して遠近移動させるレンズ駆動機構と、前記レーザ光源部から導入したレーザビームを分割し、分割した一方のレーザビームを前記対物レンズ系を介して被測定面に照射して反射光を得ると共に、他方のレーザビームを参照反射鏡に照射して反射光を得て、これら両反射光を干渉させるマイケルソン型干渉光学系と、前記対物レンズ系を介して被測定面からの反射光の一部を取り込み、被測定面での対物レンズ系の焦点ずれを検出する検出手段と、前記検出手段が検出した焦点ずれに基づいて被測定面上で対物レンズ系の焦点が合うようにレンズ駆動機構を駆動制御するレンズ駆動制御回路と、前記マイケルソン型干渉光学系において生じるヘテロダイン干渉による干渉光を受光し、受光した光干渉信号を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部の検出信号に基づいて被測定物の形状の変位量を算出すると共に、前記レーザ光源の周波数変調を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/30
, G01C 3/06
