特許

J-GLOBAL ID：200903084415084212

排ガス処理装置および処理装置のクリーニング方法

発明者： 川村 剛平
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-111330
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283510
出願日： 1996年04月08日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 連続運転が可能となり、スループットの向上が図れる排ガス処理装置および処理装置のクリーニング方法を提供する。【解決手段】 排ガスの有害成分を除去する吸着筒24を有する排ガス処理装置20において、上記吸着筒24に冷却手段27を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

排ガスの有害成分を除去する吸着筒を有する排ガス処理装置において、上記吸着筒に冷却手段を設けたことを特徴とする排ガス処理装置。

IPC (9件)：

H01L 21/31 ,  B01D 53/34 ,  B01D 53/81 ,  B01D 53/68 ,  B01J 20/18 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/324

FI (9件)：

H01L 21/31 B ,  B01J 20/18 B ,  C23C 16/44 E ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 S ,  H01L 21/324 D ,  B01D 53/34 A ,  B01D 53/34 134 C ,  C23C 16/44 J