特許
J-GLOBAL ID：200903084418887782
インクジェットヘッドのノズルプレート製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-273156
公開番号（公開出願番号）：特開平6-122203
出願日： 1992年10月12日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】 インクジェットヘッドの製造方法、詳しくはノズルプレートの形成工程において、きわめて高精度なノズル穴加工が可能なノズルプレートの製造方法を提供すること。【構成】 プレート上のノズル穴が形成されるべき領域にフォトレジストを形成し、プレート上のフォトレジストでカバーされていない領域にマスクとしての銅めっきを施してからフォトレジストを除去する。その後、銅めっきのマスクが形成されたプレートにレーザビームを照射してノズル穴を形成して、インクジェットヘッドのノズルプレートをが完成する。
請求項（抜粋）：
複数のインク流路が形成された本体と、その本体に固定され、前記複数のインク流路の一端にそれぞれ連通する複数のノズル穴が形成されたノズルプレートとを備えたインクジェットヘッドのためのノズルプレートの製造方法であって、プレート上のノズル穴が形成されるべき領域を除いた領域に高エネルギー線遮断マスクを密着形成する工程と、マスクが形成されたプレートに高エネルギー線を照射する工程と、を備えることを特徴とするノズルプレートの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/135
, B23K 26/00 330
, B23K 26/06
