特許
J-GLOBAL ID：200903084425489237
開環メタセシス(共)重合体の水素添加物及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-295826
公開番号（公開出願番号）：特開平11-130845
出願日： 1997年10月28日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：
【要約】【課題】 レジスト材として用いられる新規な開環メタセシス(共)重合体の水素添加物を提供する。【解決手段】 少なくとも一般式(1)で表される構造単位[A]と一般式(2)で表される構造単位[B]から構成され、その構成モル比[A]/[B]が5/95〜95/5であり、かつ重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比(Mw/Mn)が1.0〜2.0である開環メタセシス(共)重合体の水素添加物。
請求項（抜粋）：
少なくとも下記一般式(1)【化1】(式中、R1〜R4のうち少なくとも一つが、炭素数2〜20のアルコキシカルボニル、炭素数2〜20のアルコキシカルボニルオキシ、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル、炭素数3〜20のアルキルカルボキシカルボニル、または炭素数3〜20のアルコキシカルボニルオキシアルキルであり、その他は水素、炭素数1〜20のアルキル、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、カルボン酸、ヒドロキシ、炭素数2〜20のカルボキシアルキル、炭素数1〜20のヒドロキシアルキルまたはニトリルから選ばれ、mは0または1〜3の整数を表す。)で表される構造単位[A]と下記一般式(2)【化2】(式中、R5〜R8のうち少なくとも一つが、カルボン酸、ヒドロキシ、炭素数2〜20のカルボキシアルキルまたは炭素数1〜20のヒドロキシアルキルであり、その他は水素、炭素数1〜20のアルキル、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、またはニトリルから選ばれ、nは0または1〜3の整数を表す。)で表される構造単位[B]から構成され、その構成モル比[A]/[B]が5/95〜95/5であり、かつ重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比(Mw/Mn)が1.0〜2.0であることを特徴とする開環メタセシス(共)重合体の水素添加物。
IPC (3件)：
C08G 61/08
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
C08G 61/08
, G03F 7/039 501
, H01L 21/30 502 R
