特許
J-GLOBAL ID：200903084431603734
クリーン搬送方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-024992
公開番号（公開出願番号）：特開平6-215420
出願日： 1993年01月21日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 真空排気手段及び移送手段を持たず、真空に保つ空間を必要最小限とした真空クリーンボックスを用いて被搬送物を収納、保管、もしくは移送する構成として、各種処理装置への合体を容易とし、真空維持時間を長くし、取り扱いを簡便とする。【構成】 シャッター3で開閉自在な開閉口4を有し、該シャッター閉成時に真空状態を維持できる気密性を有していて真空排気手段及び移送手段を持たない真空クリーンボックス1と、シャッター7で開閉自在な開閉口を有するスパッタ装置5とを、各シャッターの閉成状態にて気密に結合して、各開閉口が面する密閉空間を形成した後、真空クリーンボックス1及びスパッタ装置5の各開閉口を閉じていた各シャッター3,7を開けて、真空クリーンボックス1とスパッタ装置5の内部空間同士を連続させる。
請求項（抜粋）：
シャッターで開閉自在な開閉口を有し、該シャッター閉成時に真空状態を維持できる気密性を有していて真空排気手段及び移送手段を持たない真空クリーンボックスと、シャッターで開閉自在な開閉口を有する真空装置とを、各シャッターの閉成状態にて気密に結合して、各開閉口が面する密閉空間を形成した後、前記真空クリーンボックス及び前記真空装置の各開閉口を閉じていた各シャッターをそれぞれ開けて、前記真空クリーンボックスと前記真空装置の内部空間同士を連続させることを特徴とするクリーン搬送方法。
IPC (3件)：
G11B 7/26
, B65G 49/00
, H01L 21/68
