特許
J-GLOBAL ID:200903084433743630
感光性樹脂組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
福沢 俊明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-222738
公開番号(公開出願番号):特開平6-194837
出願日: 1993年08月17日
公開日(公表日): 1994年07月15日
要約:
【要約】【目的】 水現像性に優れるとともに、水現像時の膨潤が小さくて強度低下や寸法変化が少なく、露光後の樹脂板強度が優れ、かつ破断伸度、反発弾性および透明性も良好で、優れた特性バランスを有する新規感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 組成物は、(1)架橋構造を有する粒子状のカルボキシル基含有ジエン系重合体、(2)(イ)分子鎖の末端に2以上の光重合性不飽和基を有し、場合により分子鎖の側鎖に光重合性不飽和基、カルボキシル基、水酸基、アミノ基あるいはエポキシ基を有する重合体、または(ロ)分子鎖の側鎖に光重合性不飽和基、カルボキシル基、水酸基、アミノ基あるいはエポキシ基を有する非ジエン系重合体もしくは低分子量の直鎖状ジエン系重合体、(3)光重合性不飽和単量体、(4)アミノ基含有化合物、並びに(5)光重合開始剤を含有することを特徴とする。
請求項(抜粋):
(1)架橋構造を有する粒子状のカルボキシル基含有ジエン系重合体、(2-1)分子鎖の末端に2以上の光重合性不飽和基を有する重合体、(3)光重合性不飽和単量体、(4)アミノ基含有化合物、並びに(5)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (10件):
G03F 7/038
, C08F279/02 MQP
, C09D 4/00 PDV
, C09D 11/10 PTR
, C09J 4/00 JBT
, C09J113/00 JDW
, G03F 7/028
, H01L 21/027
, C08F 2/48 MDK
, C08F299/00 MRM
引用特許: