特許

J-GLOBAL ID：200903084437593250

光学的むら検査装置および光学的むら検査方法

発明者： 上田 邦夫
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005721
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197453
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】 対象物の光学的むらを自動的にばらつきなく検査することができる光学的むら検査装置および光学的むら検査方法を提供することである。【解決手段】 CCDカメラ17により検査対象物100を撮像し、検査対象物100の画像に対応する画像データを出力する。画像データを規格化することにより規格化画像データを得る。規格化画像データの画素の値の平均値を基準として平均値よりも低い第1のしきい値および平均値よりも高い第2のしきい値を1組以上設定する。各組の第1のしきい値よりも低い値を有する画素および第2のしきい値よりも高い値を有する画素を各組ごとに抽出する。抽出された画素の数を各組ごとにカウントする。各組ごとに得られたカウント値に基づいて光学的むらの有無を判定する。

請求項（抜粋）：

対象物の光学的むらを検査する光学的むら検査装置であって、前記対象物の画像に対応する画像データを規格化することにより規格化画像データを得る規格化手段と、前記規格化手段により得られた規格化画像データの画素の値の平均値を基準として前記平均値よりも低い第1のしきい値および前記平均値よりも高い第2のしきい値を1組以上設定する設定手段と、前記規格化手段により得られた規格化画像データにおいて前記設定手段により設定された各組の第1のしきい値よりも低い値を有する画素および第2のしきい値よりも高い値を有する画素を各組ごとに抽出する抽出手段と、前記抽出手段により抽出された画素の数を各組ごとに計数する計数手段と、前記計数手段により各組ごとに得られた計数値に基づいて光学的むらの有無を判定する判定手段とを備えたことを特徴とする光学的むら検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/89 ,  G06T 1/00 ,  G06T 7/00 ,  G01B 11/30

FI (5件)：

G01N 21/88 J ,  G01N 21/89 A ,  G01B 11/30 G ,  G06F 15/62 380 ,  G06F 15/70 330 Z