特許

J-GLOBAL ID：200903084440112255

インクジェットヘッド液室構造及びその製造方法

発明者： 加藤 静一
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 高野 明近 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-247134
公開番号（公開出願番号）：特開2001-071487
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】 流路を液室基板の振動板を駆動するアクチュエータ基板側に形成し、振動板,加圧液室,流路溝が1枚の液室基板で一体になった構造を容易に製作できるインクジェットヘッド液室構造を提供する。【解決手段】 面方位(110)の単結晶Si基板20から成り、該Si基板20の第1面に液室23が形成され、第2面に振動板22及び流体抵抗となる溝24および貫通孔が形成されている。なお、10はアクチュエータで、個別電極3と振動板22の間に印加される電圧で、振動板22が変位され、その復元力で、液室23内インクが加圧され、ノズル31よりインク滴が吐出される。

請求項（抜粋）：

面方位(110)の単結晶Si基板から成り、該Si基板の第1面に液室が形成され、第2面に振動板及び流体抵抗となる溝および貫通孔が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド液室構造。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (8件)：

2C057AF93 ,  2C057AG54 ,  2C057AP26 ,  2C057AP28 ,  2C057AP34 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA05 ,  2C057BA15