特許
J-GLOBAL ID：200903084441206466
固体撮像装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-280321
公開番号（公開出願番号）：特開平5-095098
出願日： 1991年10月02日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】【目的】 画素サイズが縮小された場合においても、入射光をフォトダイオードに集束できるようにしたマイクロレンズを備えた固体撮像装置を提供する。【構成】 シリコン基板1の表面にマトリクス状に配置された複数のフォトダイオード2に対して、低屈折率領域8と高屈折率領域9からなる絶縁膜3を介して、前記シリコン基板1上のフォトダイオード2に対応する部分に入射光を集束するマイクロレンズ5を配設する。これによりマイクロレンズ5の厚みを極端に薄くすることなく、その焦点距離を伸ばし、入射光7を効率よくフォトダイオード2に集束させることができる。
請求項（抜粋）：
半導体基板の表面領域にマトリクス状に配設された複数の光電変換素子と、前記半導体基板上に絶縁膜を介して配設した前記各光電変換素子に対応する部分に入射光を集束するマイクロレンズとをそれぞれ備えた固体撮像装置において、前記絶縁膜を構成する膜のうち、厚み方向における全てあるいは一部分の膜の屈折率を、前記マイクロレンズの屈折率よりも大きな値としたことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (3件)：
H01L 27/14
, G02B 3/00
, H04N 1/028
