特許
J-GLOBAL ID：200903084444087557
光学的変位量測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小泉 伸 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-226459
公開番号（公開出願番号）：特開平6-042916
出願日： 1991年08月12日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】 測定対象の相対的変位量や速度を短時間に測定でき、測定対象の速度の変化を細かい時間間隔で測定でき、かつその測定精度及びダイナミックレンジの向上がはかれる光学的変位量測定装置を提供することを目的とする。【構成】 測定対象たる移動する測定物体19のスペックルパターンを時間間隔Δtをおいて第一の光変調器6に二重記録する。この二重記録パターンを読みだしフーリエ変換して第二の光変調器11に記録した後再度フーリエ変換してPSD15A上に自己相関信号光を形成させる。PSD15Aは自己相関信号光のピーク位置を直接検出し、演算・制御装置15Bがその結果に基づき測定物体の移動量及び速度を演算する。演算・制御装置15Bはまた、その演算結果に基づいてスペックルパターンの二重書き込みの時間間隔Δtを制御して自己相関信号光が常にPSDの受光面の測定誤差の小さい範囲に受光されるようにする。
請求項（抜粋）：
測定対象へ光を照射するための第一の照射手段と、この照射光に基づく測定対象からの反射光または透過光を受光して該測定対象の像を所定の時間間隔で二重記録し該測定対象と光学的変位量測定装置との間の相対的変位を記録する第一の記録手段と、該第一の記録手段にコヒーレント光を照射して記録された像を読みだすための第一のコヒーレント光投光手段と、該読み出された像をフーリエ変換するための第一のフーリエ変換手段と、該第一のフーリエ変換手段により形成した第一のフーリエ変換像を記録するための第二の記録手段と、該第二の記録手段にコヒーレント光を照射して該記録された第一のフーリエ像を読みだすための第二のコヒーレント光投光手段と、該読み出された第一のフーリエ変換像をフーリエ変換するための第二のフーリエ変換手段と、該第二のフーリエ変換手段により形成された第二のフーリエ変換像の重心の位置を検出し該測定対象と該光学的変位量測定装置との間の相対的変位量を求めるための光重心位置検出手段と、該光重心位置検出手段の検出結果に基づいて該所定の時間間隔を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする該光学的変位量測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G01B 11/16
, G01P 3/38
